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【2h】

Surface-micromachined 2D optical scanners with optically flat singlecrystalline silicon micromirrors

机译：具有光学平坦单晶硅微镜的表面微加工2D光学扫描仪

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作者
Guo-dung J. Su; Student Member; Hiroshi Toshiyoshi; Ming C. Wu; Senior Member;
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年度 2001
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